▣ ESC Body 설계 ▣ ESC Plate 설계 ▣ ESC 전극 설계 ▣ ESC 3D 설계 ▣ ESC Heater 설계
▣ Sheet bonding ▣ Si bonding ▣ Heater bonding ▣ Plate De-bonding
▣ Ceramic Plate, AlN, SiC 가공 ▣ 미세 입자 패턴 가공 ▣ Special Polishing 가공 ▣ Micro flatness 가공
▣ ESC 초음파 검사 ▣ 열화상 검사 ▣ TC wafer 검사 ▣ 조도 형상 검사 ▣ 전기 특성 검사
